<p> <strong>权威快报｜芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化</strong></p><p> 中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。(记者温竞华，海报设计：贾伊宁)</p><p align="center"><img src="/public/uploads/article/2021/03/18/e2efea8d5356a4049febcad2.jpg" alt="" /></p><!--画中画广告start-->
<!--画中画广告end-->
