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南阳傲领光电申请光学玻璃镀膜层均匀性优化方法专利,实现镀膜全流程动态闭环反馈

   日期:2026-07-16 12:09:32     来源:金融界    浏览:0    评论:0    

国家知识产权局信息显示,南阳傲领光电有限公司申请一项名为“一种光学玻璃镀膜层的均匀性优化方法”的专利,公开号CN122382530A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明涉及光学玻璃材料技术领域,公开了一种光学玻璃镀膜层的均匀性优化方法,包括:将划分的基板面元阵列为唯一基准,实施与面元粗糙度匹配的分级清洗与等离子体活化,标注装夹遮挡边缘面元,引入多非理想效应修正因子构建镀膜沉积全域仿真模型完成全流程工艺预优化;对大口径光学玻璃基板构建独立闭环控制机制,建立映射模型实现电子束光斑动态扫描与靶材刻蚀全生命周期补偿;设计多单元分体式动态可调复合修正挡板,同步配置与调控分区对应的腔体分区加热、气体分流单元,实现局域环境独立管控;建立退火参数与膜层应力释放特性映射模型,实现镀膜全流程动态闭环反馈,完成批次间工艺自适应优化。

天眼查资料显示,南阳傲领光电有限公司,成立于2021年,位于南阳市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,南阳傲领光电有限公司专利信息18条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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